Journals

  • Home
  • Publication
  • Journals
Crystallized HfLaO Embedded Tetragonal ZrO2 for Dynamic Random Access Memory Capacitor Dielectrics
Journal
Appl. Phys. Lett.
Author
Y. S. Shin, K. K. Min, S. H. Lee, S. K. Lim, J. S. Oh, K. J. Lee, K. Hong, and B. J. Cho
Year
2011
Date
Apr. 2011.

Y. S. Shin, K. K. Min, S. H. Lee, S. K. Lim, J. S. Oh, K. J. Lee, K. Hong, and B. J. Cho, “Crystallized HfLaO Embedded Tetragonal ZrO2 for Dynamic Random Access Memory Capacitor Dielectrics”, Appl. Phys. Lett., vol.98, no. 17, pp. 173505-1-173505-3, Apr. 2011.