Journals

  • Home
  • Publication
  • Journals
Thermal Stability of (HfO2)x(Al2O3)1-x on Si
Journal
Appl. Phys. Lett.
Author
H. Y. Yu, N. Wu, M. F. Li, C. Zhu, B. J. Cho, D. L. Kwong, C. H. Tung, J. S. Pan, J. W. Chai, W. D. Wang, D. Z. Chi, C. H. Ang, J. Z. Zheng
Year
2002
Date
Nov. 2002.

H. Y. Yu, N. Wu, M. F. Li, C. Zhu, B. J. Cho, D. L. Kwong, C. H. Tung, J. S. Pan, J. W. Chai, W. D. Wang, D. Z. Chi, C. H. Ang, J. Z. Zheng, "Thermal Stability of (HfO2)x(Al2O3)1-x on Si", Appl. Phys. Lett., vol. 81, no. 19, pp. 3618-3620, Nov. 2002.