상부 게이트 자기 정렬 구조를 가진 a-IGZO 박막 트랜지스터에서 후열처리 공정에 따른 채널 쇼트닝 효과의 분석 및 개선
- Year
- 2025
- Author
- 김희태
- Co-author
- 정재중, 박영근, 김동빈, 백종수, 이호석, 조성행, 조병진
- Conference
- The 32th Korean Conference on Semiconductors, 2025
상부 게이트 자기 정렬 구조를 가진 a-IGZO 박막 트랜지스터에서 후열처리 공정에 따른 채널 쇼트닝 효과의 분석 및 개선
김희태1, 정재중1, 박영근1, 김동빈1, 백종수1, 이호석1, 조성행2, 조병진1
1한국과학기술원 전기 및 전자공학부 2한국전자통신연구원 플렉시블 전자소자연구실