개시제를 통한 고분자 기상증착기법을 활용한 다공성 초절연물질 (k = 2.0) 표면 실링 방법
- Year
- 2017
- Author
- Seong Jun Yoon, Kwanyong Pak, Taewook Nam, Alexander Yoon, Hyungjun Kim, Sung Gap Im, and Byung Jin Cho
- Conference
- 24th Korean Conference on Semiconductors
Seong Jun Yoon, Kwanyong Pak, Taewook Nam, Alexander Yoon, Hyungjun Kim, Sung Gap Im, and Byung Jin Cho, "개시제를 통한 고분자 기상증착기법을 활용한 다공성 초절연물질 (k = 2.0) 표면 실링 방법", 24th Korean Conference on Semiconductors, Kangwondo, Korea, Feb. 13-15, 2017
Feb. 13-15, 2017
Kangwondo, Korea