IGZO Epitaxial Layer를 통한 HfxZr1-xO2 박막의 저온 결정화 유도
- Year
- 2023
- Author
- 김성호
- Co-author
- 고운산, 이가원, 이희덕, 조병진
- Conference
- The 30th Korean Conference on Semiconductors
IGZO Epitaxial Layer를 통한 HfxZr1-xO2 박막의 저온 결정화 유도
김성호1 , 고운산2 , 이가원2 , 이희덕2 , 조병진1
1한국과학기술원 전기 및 전자공학부, 2충남대학교 전자공학과