그린 레이저 다중 조사 열처리 공정 도입을 통한 Monolithic 3D (M3D) 상부 PMOS 소자 특성 향상
- Year
- 2023
- Author
- Youngkeun Park
- Co-author
- Jaeoong Jeong, Yongku Baek, Semin Noh, Heetae Kim, Dong Bin Kim, and Byung Jin Cho
- Conference
- The 30th Korean Conference on Semiconductors
그린 레이저 다중 조사 열처리 공정 도입을 통한 Monolithic 3D (M3D) 상부 PMOS 소자 특성 향상
Youngkeun Park, Jaeoong Jeong, Yongku Baek, Semin Noh, Heetae Kim, Dong Bin Kim, and Byung Jin Cho
School of Electrical Engineering, KAIST