나노 초 레이저 어닐링을 이용한 비아 플러그의 결정립 크기 증가 

Year

2024 

Author

정재중 

Co-author

박영근, 백용구, 김희태, 김동빈, 김환욱, 조병진 

Conference

The 31th Korean Conference on Semiconductors, 2024