그린 레이저를 이용한 모놀리식 3D 소자 제작 공정에서 상부 게이트 버퍼층 삽입을 통한 MOSFET 성능 개선 

Year

2024 

Author

박영근 

Co-author

정재중, 김희태, 김성호, 김동빈, 추준홍, 강창연, 조병진 

Conference

The 31th Korean Conference on Semiconductors, 2024