Intense Pulsed Light을 이용한 선택적 어닐링을 통한 Top-gate Self-aligned 구조의 IGZO TFT성능 개선
- Year
- 2024
- Author
- 김희태
- Co-author
- 박서학, 정재중, 박영근, 김동빈, 조성행, 최성율, 조병진
- Conference
- The 31th Korean Conference on Semiconductors, 2024
Intense Pulsed Light을 이용한 선택적 어닐링을 통한 Top-gate Self-aligned 구조의 IGZO TFT성능 개선
김희태, 박서학, 정재중, 박영근, 김동빈, 조성행, 최성율, 조병진
한국과학기술원 전기 및 전자공학부, 한국전자통신연구원 플렉시블전자소자연구실