알루미늄-하이브리드 iCVD 고분자 도핑공법을 적용시킨 산화아연 채널 포토트랜지스터의 자외선 검출 성능 개선 연구
- Year
- 2025
- Author
- 백종수
- Co-author
- 김희태, 김동빈, 최윤호, 김용기, 윤영빈, 김민주, 신명훈, 조병진
- Conference
- The 32th Korean Conference on Semiconductors, 2025
알루미늄-하이브리드 iCVD 고분자 도핑공법을 적용시킨 산화아연 채널 포토트랜지스터의 자외선 검출 성능 개선 연구
백종수1, 김희태2, 김동빈2, 최윤호2, 김용기3, 윤영빈3, 김민주4, 신명훈3, 조병진1,2
1한국과학기술원 반도체공학대학원, 2한국과학기술원 전기및전자공학부 ,3한국항공대학교