고압 열처리를 통한 다결정 실리콘-저마늄 채널 박막 트랜지스터의 전기적 특성 개선
- Year
- 2025
- Author
- 신건희
- Co-author
- 박영근, 정재중, 조병진
- Conference
- The 32th Korean Conference on Semiconductors, 2025
고압 열처리를 통한 다결정 실리콘-저마늄 채널 박막 트랜지스터의 전기적 특성 개선
신건희1, 박영근2, 정재중2, 조병진1, 2
1한국과학기술원 반도체공학대학원, 2한국과학기술원 전기및전자공학부