Self-aligned 플라즈마 처리를 통한 NiO/β-Ga2O3 이종 접합 파워다이오드의 질소 도핑
- Year
- 2025
- Author
- 김동빈
- Co-author
- 백종수, 최윤호, 김형우, 조병진
- Conference
- The 32th Korean Conference on Semiconductors, 2025
Self-aligned 플라즈마 처리를 통한 NiO/β-Ga2O3 이종 접합 파워다이오드의 질소 도핑
김동빈1, 백종수1, 최윤호1, 김형우2, 조병진1
1한국과학기술원 전기및전자공학부, 2한국전기연구원 전력반도체연구단