나노 초 그린 레이저 어닐링을 활용한 Contact/via 접촉 불량 해소
- Year
- 2025
- Author
- 정재중
- Co-author
- 박영근, 김영준, 김희태, 김동빈, 조희재, 권수현, 조병진
- Conference
- The 32th Korean Conference on Semiconductors, 2025
나노 초 그린 레이저 어닐링을 활용한 Contact/via 접촉 불량 해소
정재중1, 박영근1, 김영준1, 김희태1, 김동빈1, 조희재2, 권수현2, 조병진1
1한국과학기술원 전기및전자공학부 , 2나노종합기술원 나노공정기술실