3D NAND Flash Memory용 Boron Oxynitride 터널링 층의 전하 트랩 준위 및 TAT 기반 Retention Loss 분석 

Year

2026 

Author

강대현 

Co-author

정재중, 박영근, 김영준, 조병진 

Conference

2026 반도체공학회 하계종합학술대회