선택적 레이저 열처리를 통한 모놀리식 3D 상부소자를 포함하는 다층 게이트 캐퍼시터 및 이의 제조방법
- Inventor
- B. J. Cho, Y. K. Park, J. J. Jeong, S. M. Noh
- No.
- 10-2748569-0000
- 출원국가
- 국내
- 상태
- 등록
- Date
- 2024
조병진, 박영근, 정재중, 노세민, 선택적 레이저 열처리를 통한 모놀리식 3D 상부소자를 포함하는 다층 게이트 캐퍼시터 및 이의 제조방법, 10-2748569-0000, Dec. 2024