선택적 레이저 열처리를 통한 모놀리식 3D 상부소자를 포함하는 다층 게이트 캐퍼시터 및 이의 제조방법
- Inventor
- B.J. Cho, Y.K. Park, J.J. Jeong, S.M. NOH
- No.
- 10-2021-0170076
- 출원국가
- 국내
- 상태
- 출원
- Date
- 2021
B.J. Cho, Y.K. Park, J.J. Jeong, S.M. NOH, "선택적 레이저 열처리를 통한 모놀리식 3D 상부소자를 포함하는 다층 게이트 캐퍼시터 및 이의 제조방법", 10-2021-0170076, Dec, 2021.