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전-열처리 및 선택적 그린레이저를 이용한 비정질 실리콘의 재결정화 방법
Inventor
B. J. Cho, Y. K. Park, J. J. Jeong, S. M. Noh, Y. K. Baek
No.
10-2021-0162489
출원국가
국내
상태
출원
Date
2021
Date
Nov. 2021

B.J. Cho, Y. K. Park, J. J. Jeong, S. M. Noh, Y. K. Baek, "전-열처리 및 선택적 그린레이저를 이용한 비정질 실리콘의 재결정화 방법", 10-2021-0162489, Nov. 2021.