iCVD 공정방식을 통한 3D V-NAND 폴리실리콘 채널 내 Fluorine 도핑 기술

Inventor

B. J. Cho, J. I. Park, Y. K. Park, S. G. Lim

No.

10-2025-0025488

출원국가

국내

상태

출원

Date

2025

Date

Feb. 2025