Evaporator
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작성자 JIT
댓글 0건 조회 725회 작성일 2018-04-12 15:50
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Equipment : Thermal Evaporator
Model : KOREA VACUUM TECH, KVE-T2010
Application:
-Metal deposition (Al, Cu, Au, Pd, Ni, Cr, Ti, Co)
General information
-Sample Size: 4’’, up to 4 wafers
-Vacuum pressure: ~ 2.0E-6 Torr
-Film thickness uniformity: < 5%
-Substrate: rotate (O) heating/cooling (X)
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