4-point Probe
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작성자 JIT
댓글 0건 조회 1,003회 작성일 2018-04-12 15:44
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Equipment : 4-Point Probe
Model : CMT-SR1000N (AIT)
Application:
-Resistivity, sheet resistance measurement
-
General information
-Chuck: Wafer diameter 200 mm, square sample 140x140mm
-Measurement scale: Rs: 1mohm/sq ~ 2 Mohm/sq
Resistivity: 10uohm.cm ~ 200kohm.cm
-Measurment time: 2 ~ 4 sec.
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